国产首台28 纳米关键尺寸电子束量测量产设备出机
8月15日，国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在锡成功出机。市委书记杜小刚，中国工程院院士丁文江、庄松林、董绍明，中国科学院院士张泽共同出席出机仪式。
电子束晶圆量检测设备是芯片制造领域除光刻机外，技术难度最大、重要程度最高的设备之一。此次出机的 28 纳米关键尺寸电子束量测量产设备，由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制，在电子光学系统、运动平台、电子电路和软件等方向实现了完全自研，能有效解决我国半导体量检测领域关键核心难题，对于填补我国集成电路产业关键环节空白、提高国产芯片高端装备自主可控水平具有里程碑意义。
在当天活动现场，亘芯悦科技、上海交通大学自动化与感知学院